由全球領(lǐng)先的高精真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應(yīng)增值服務(wù)供應(yīng)商Edwards集團(tuán)公司研發(fā)的Spectra-GTM3000尾氣處理系統(tǒng)，由于其減少發(fā)光二極管(LED)制造污染和成本的重要作用，贏得《工廠工程》雜志2012年“環(huán)境健康”類的“年度最佳產(chǎn)品”獎(jiǎng)。

　　“我們很高興贏得這一聲名顯赫的大獎(jiǎng)，”Edwards LED部門全球市場(chǎng)經(jīng)理Shao Wei說，“ Spectra-G 3000讓全球LED制造商減少其業(yè)務(wù)對(duì)環(huán)境的影響，同時(shí)降低他們的運(yùn)營(yíng)成本。非常高興看到Edwards以環(huán)境責(zé)任奉獻(xiàn)最新技術(shù)的承諾已得到認(rèn)可。”

　　中國(guó)的“十二五計(jì)劃”強(qiáng)調(diào)節(jié)能環(huán)保，它對(duì)于企業(yè)發(fā)展節(jié)能科技有一定的優(yōu)惠待遇，同時(shí)對(duì)于碳排放，水質(zhì)中的氮化物污染和空氣中的氮氧化物污染都設(shè)定了硬性指標(biāo)。

　　將節(jié)能的LED燈用于普通照明和特殊應(yīng)用(例如電腦和電視的平板顯示器背光(FPD))預(yù)計(jì)將對(duì)能源消耗和碳排放強(qiáng)度(間接)的降低帶來重大貢獻(xiàn)。但是，大規(guī)模LED制造可能產(chǎn)生氮化物和氮氧化物排放，這些排放物必須進(jìn)行處理。

　　Edwards的Spectra-G 3000系統(tǒng)是一種先進(jìn)的尾氣處理系統(tǒng)，為處理LED制造采用的有機(jī)金屬化合物氣相沉積(MOCVD)工藝中出現(xiàn)的大流量氨氣和氫氣而專門設(shè)計(jì)。它利用燃燒工藝將這些氣體轉(zhuǎn)化為無害的氮?dú)夂退�蒸汽。由于該工藝不使用外部的水，完全消除了供水的氮化物污染。燃燒過程的精確控制使氮氧化物的排放量大大低于許可的水平。氫氣的燃燒消除了制造設(shè)施下游設(shè)備的火災(zāi)或爆炸危險(xiǎn)。

　　由于來自MOCVD工藝的氨氣和氫氣的燃燒供應(yīng)了大部分能量，這使得該系統(tǒng)顯著減少了總體營(yíng)運(yùn)成本。同時(shí)也極大地減少了燃料成本和烴燃料的碳排放。由于燃燒后我們使用空氣而不是水進(jìn)行冷卻，因此空氣可以進(jìn)行熱交換去收集并回收利用熱量，這進(jìn)一步減少了制造設(shè)施的能耗和碳足跡。最后，該系統(tǒng)的耐用設(shè)計(jì)和燃燒工藝的簡(jiǎn)潔性最大程度減少了設(shè)備維護(hù)成本。