對(duì)真空漏率要求較高的大容器檢漏一般采用氦質(zhì)譜真空檢漏，此時(shí)檢漏靈敏度的高低是衡量檢漏結(jié)果精確與否的重要指標(biāo)之一。要充分發(fā)揮檢漏儀的能力，以求得盡可能高的檢漏靈敏度，必須對(duì)輔助真空系統(tǒng)進(jìn)行合理設(shè)計(jì)。下面通過(guò)對(duì)檢漏靈敏度的分析確定檢漏儀在本套真空系統(tǒng)中的連接方式。

　　通過(guò)對(duì)檢漏儀的調(diào)節(jié)，能使其在高真空側(cè)和前級(jí)側(cè)時(shí)對(duì)氦氣的抽速Sd保持一致，Qmin為系統(tǒng)參數(shù)一般不變，從式(1)和式(2)可看出qmin的高低取決于S₁和S₂的大小。在分流狀態(tài)，有S₂>>S₁，即qmin1＜qmin2。在次級(jí)泵啟動(dòng)進(jìn)入穩(wěn)定狀態(tài)后，一般可將前級(jí)泵處節(jié)流閥關(guān)閉，即S1＝0，由式(1)可知，此時(shí)qmin1=Qmin。而相同條件下，次級(jí)泵處閥門(mén)卻不能完全斷開(kāi)，即S₂＞0，由式(2)可知，qmin2＞Qmin，比較有qmin1＜qmin2。在需對(duì)大容器抽高真空并要求檢漏時(shí)，檢漏儀接在前級(jí)側(cè)時(shí)的系統(tǒng)檢漏靈敏度高于接在高真空側(cè)的檢漏靈敏度。

表 1  檢漏儀接高真空側(cè)節(jié)流閥6圈，機(jī)械泵二通閥全開(kāi) (全分流)