各種真空系統(tǒng)可容許的漏氣范圍
2008-11-02 鬼馬 真空技術網(wǎng)整理
嚴格地講,任何設備都有漏氣現(xiàn)象存在,問題在于漏氣量對真空設備及使用目的是否有影響。漏氣發(fā)生的影響在于可能影響到達的壓力或實驗生產(chǎn)的純度等。如果不能造成這種不良影響,則在某種范圍內(nèi)可以容許有一定的漏氣。一般而言,如下表所示的漏氣量可以容許。
容許漏氣量=設備最低壓力 x 排氣速度 x 1/(10-100)
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真空設備 |
容許漏氣量（Ｐａｍ３／ｓ） |
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簡單的減壓設備 |
１０～１０２ |
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減壓干燥設備 |
１～１０ |
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簡單的蒸發(fā)成膜設備 |
１０-７～１０-６ |
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高級成膜設備 |
１０-９～１０ |
