真空檢漏法的檢漏方法介紹

2008-09-24 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)培訓(xùn)講座

檢漏方法 工作壓力[Pa] 現(xiàn) 象 設(shè) 備 最小可檢漏率[Pam3／s]
靜態(tài)升壓法   抽真空后封閉，壓力上升 真空計(jì) 10-5～10-6
放電管法   放電顏色改變 放電管 10-3～10-4
高頻火花檢漏器法 103～10-1 亮點(diǎn)，放電顏色改變 高頻火花檢漏器 10-3～10-4
真
空
計(jì)
法		 熱傳導(dǎo)真空計(jì)法 103～10-1 施用示漏物質(zhì)真空
計(jì)讀數(shù)變化		 熱偶或電阻真空計(jì) 10-6
電離真空計(jì)法 10-2～10-6 電離真空計(jì) 10-9
差動(dòng)熱傳導(dǎo)真空計(jì)法 103～10-1 熱傳導(dǎo)真空計(jì)差動(dòng)組合 10-7
差動(dòng)電離真空計(jì)法 10-2～10-6 電離真空計(jì)差動(dòng)組合 10-10
有吸附阱的熱傳導(dǎo)真空計(jì)法 103～10-3 液氮冷卻活性炭阱，
熱傳導(dǎo)計(jì)		 10-7
有吸附阱的電離真空計(jì)法 10-2～10-6 液氮冷卻硅膠阱，
冷陰極電離計(jì)		 10-11～10-13
氫鈀法 7×101～10-5 氫氣通過(guò)鈀管進(jìn)入
真空規(guī)，讀數(shù)變化		 鈀管，電離計(jì) 10-7～10-11
離子泵檢漏法 10-5～10-7 示漏物質(zhì)使離子流變化 離子泵 10-9～10-12
鹵素檢漏儀內(nèi)探頭法 10～10-1 輸出儀表讀數(shù)變化 鹵素檢漏儀 10-7～10-9
氯質(zhì)譜檢漏儀法 10-2 輸出儀表讀數(shù)及
聲響頻率變化		 氦質(zhì)譜檢漏儀 10-12～10-14
質(zhì)
譜
計(jì)
法		 射頻質(zhì)譜計(jì)法 10-2～10-4 施用示漏物質(zhì)輸出
儀表讀數(shù)變化		 射頻質(zhì)譜計(jì) 10-6～10-11
回旋質(zhì)譜計(jì)法 10-3～10-7 回旋質(zhì)譜計(jì) 10-7～10-12
四極濾質(zhì)器 10-1～10-4 四極濾質(zhì)器 10-10～10-11