氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器.其質(zhì)譜原理如圖所示。

氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜學原理

　　燈絲發(fā)射出來的電子在電離室內(nèi)來回的振蕩，與電離室內(nèi)氣體和經(jīng)被檢件漏孔進入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉，形成圓弧形軌道，軌道半徑

　　式中R ——離于偏轉軌道半徑(cm)

　　B ——磁場強度(T)

　　——離子的質(zhì)(量)/(電)荷比(正整數(shù))

　　U ——離子加速電壓(V)

　　由上式可知，當R、B為定值時，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。