真空漏孔的校準(zhǔn)方法——定容變壓法
將從真空漏孔流出的氣體引人到一封閉容器中，在溫度、體積恒定不變的情況下，真空漏孔的漏率可以通過(guò)測(cè)量容器中氣體壓力的變化率△p/△t，體積V，溫度T而得到
QL =( V/ RT ) (△p/△t) (4)
如果在測(cè)量過(guò)程中，容器中氣體溫度變化△T,△p,△t,V 和T的測(cè)量誤差分別為δ(△p),δ(△t),δV,和δ△T，則真空漏孔的漏率測(cè)量誤差δQL為
式中P為測(cè)量過(guò)程中容器內(nèi)氣體壓力的平均值;q是校準(zhǔn)室內(nèi)表面的吸放氣率。
在這種方法中，校準(zhǔn)室的容積必須準(zhǔn)確測(cè)量。由于每一支被校準(zhǔn)的真空漏孔封接到校準(zhǔn)室上后，它對(duì)校準(zhǔn)室的容積的貢獻(xiàn)都不一樣，即使進(jìn)行修正，也會(huì)帶來(lái)一定的誤差。因此，校準(zhǔn)室的容積不能太小，一般需大于2×10-3 m3 。
校準(zhǔn)室內(nèi)表面的吸放氣作用對(duì)漏率的測(cè)量影響很大，因?yàn)槲艢馐请S時(shí)間而變化的，所以即使對(duì)本底進(jìn)行修正，也仍然有較大的誤差。因此實(shí)際測(cè)量前需要足夠長(zhǎng)的時(shí)間使其達(dá)到平衡。還要注意測(cè)量時(shí)不能使容器內(nèi)的壓力太高，以免改變真空漏孔的漏率。
定容變壓法適于測(cè)量漏率較大的漏孔。美國(guó)真空學(xué)會(huì)曾經(jīng)在1968年將這種方法定為5×10-10～5 × 10- 8 mol/s范圍內(nèi)的真空漏孔校準(zhǔn)的美國(guó)真空學(xué)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)。
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