真空度的不同，獲得和測(cè)量技術(shù)也有很大的不同。首先，從獲得的壓力來(lái)看，從低真空到極高真空來(lái)分類如表1所示。

表1 真空的分類

真空獲得的方法可分成以下三類。

　　(1)利用機(jī)械力的真空泵;

　　(2)利用蒸汽噴射的真空泵;

　　(3)利用表面現(xiàn)象的真空泵。

　　這些泵的工作范圍如圖1所示。

圖1 各種真空泵的工作范圍

　　各種泵可能達(dá)到的壓力和抽速是組成真空系統(tǒng)所必須的。

　　另外，欲獲得高的真空度，適當(dāng)?shù)氖褂枚嗯_(tái)泵是必要的。

　　超高真空狀態(tài)的實(shí)現(xiàn)單用泵來(lái)抽是不行的，表面吸附的氣體要烘烤除氣或放電情況是必要的。

　　極高真空的獲得要使用低溫泵，對(duì)于真空容器的材料的選擇和內(nèi)壁的處理是必不可少的。

真空的壓力測(cè)定方法

　　在較高壓力時(shí)(10⁵～1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì)，麥克勞真空計(jì)，薄膜計(jì)，彈簧管壓力計(jì)等。

　　在10³～10^-2 Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。

　　在低壓力時(shí)，使用將氣體分子電離而測(cè)量的電離真空計(jì)。

表2 真空計(jì)的適用壓力范圍