本實(shí)驗(yàn)分別討論了采用三種不同錐角的電極下真空沿面放電時(shí)等離子體的生成特性。采用朗繆爾探針?lè)▽?duì)真空內(nèi)沿面放電產(chǎn)生的等離子體參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。圖9 為實(shí)驗(yàn)過(guò)程中探針P1在探針偏壓為5V 時(shí)測(cè)得的電子電流波形圖。其中深紅色線代表電子電流，紫色線代表真空沿面放電時(shí)的光照強(qiáng)度。不斷改變探針電壓，記錄每一個(gè)探針電壓下產(chǎn)生的電子電流波形的峰值，繪制V- I 特性曲線，并求得等離子體的參數(shù)如下表1 所示。

圖9 探針?lè)▽?shí)測(cè)的電子電流波形

　　由表1 可以看出：首先，電極錐角越小，擊穿電壓越小，也就是說(shuō)，錐角越小的電極越容易發(fā)生沿面放電。其次，錐角為60°的電極放電時(shí)得到主放電電流最大，測(cè)得的等離子體密度也最大;錐角為120°電極時(shí)主放電電流最小，測(cè)得的等離子體密度也最小。

　　表1 三種不同錐角電極的等離子生成特性參數(shù)

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　　電極錐角對(duì)真空沿面放電等離子體生成特性的影響