“真空技術(shù)裝備國家工程實(shí)驗(yàn)室”建設(shè)項(xiàng)目于2008年11月28日得到國家發(fā)改委正式批準(zhǔn)，是目前我國真空領(lǐng)域唯一的國家工程實(shí)驗(yàn)室。該項(xiàng)目建設(shè)期為兩年，項(xiàng)目法人單位是中科院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司，共建單位是北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司，合作單位是中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)和東北大學(xué)。項(xiàng)目法人單位與共建單位、合作單位此前已有多年的合作基礎(chǔ)，有利于該項(xiàng)目開展。

　　工程實(shí)驗(yàn)室的主要功能是：為以潔凈真空技術(shù)為基礎(chǔ)的先進(jìn)真空技術(shù)裝備發(fā)展提供共性技術(shù)創(chuàng)新的中間實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證平臺；成為實(shí)現(xiàn)應(yīng)用基礎(chǔ)研究與產(chǎn)業(yè)化有機(jī)銜接的橋梁和紐帶。建立工程實(shí)驗(yàn)室，將在國家層面上構(gòu)建真空技術(shù)裝備的技術(shù)創(chuàng)新和技術(shù)支撐體系，為集成電路、生物醫(yī)藥、高性能材料、重大科學(xué)裝置等重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供支撐和服務(wù)，并為真空產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供具有自主知識產(chǎn)權(quán)的長期的技術(shù)保障，滿足我國真空產(chǎn)業(yè)的長期發(fā)展以及國家戰(zhàn)略需求。

　　工程實(shí)驗(yàn)室的主要任務(wù)是：通過建立超高真空、低噪聲、低污染的潔凈真空技術(shù)平臺（包括真空獲得技術(shù)與應(yīng)用實(shí)驗(yàn)平臺、真空應(yīng)用實(shí)驗(yàn)與驗(yàn)證平臺、真空密封技術(shù)與應(yīng)用實(shí)驗(yàn)平臺3個專用子平臺和1個公共平臺），解決潔凈真空獲得、潔凈真空部件制備、潔凈真空密封等關(guān)鍵共性技術(shù)，滿足重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)需求，使我國在真空領(lǐng)域有能力參與國際競爭。通過真空應(yīng)用技術(shù)的突破，推進(jìn)高端真空應(yīng)用設(shè)備水平跨越2—3代。

 　　工程實(shí)驗(yàn)室實(shí)行理事會領(lǐng)導(dǎo)下的實(shí)驗(yàn)室主任負(fù)責(zé)制，首屆理事會理事單位包括：遼寧省發(fā)改委、沈陽市發(fā)改委、中科院計(jì)劃財(cái)務(wù)局、中科院高技術(shù)局、中科院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司、北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司、中國科技大學(xué)、東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)所、北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限公司。

　　工程實(shí)驗(yàn)室下設(shè)運(yùn)營管理部、知識產(chǎn)權(quán)辦公室、標(biāo)準(zhǔn)化辦公室以及項(xiàng)目組。實(shí)驗(yàn)室擁有一支實(shí)力雄厚、結(jié)構(gòu)合理、具有國際影響的研究隊(duì)伍。項(xiàng)目將實(shí)施創(chuàng)新、開放、共贏的產(chǎn)學(xué)研長效合作機(jī)制，加快突破重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸制約。