Kaufman 離子源是最早出現(xiàn)、最基本的離子源,原理結(jié)構(gòu)如圖1所示,陰極(Cathode)、陽(yáng)極(Anode)、柵極(Grids)、放電室圓筒構(gòu)成氣體放電室(Discharge Chamber),柵極構(gòu)成離子光學(xué)系統(tǒng)。放電室筒外設(shè)置磁鐵,通過磁路使磁力線穿過放電室,磁力線從陽(yáng)極向柵極方向發(fā)散并布滿柵極,柵極極靴收集磁力線回到磁鐵。

圖1 Kaufman 離子源工作原理

       陰極材料由電子發(fā)射性能較好的難熔金屬W或Ta構(gòu)成,發(fā)射的原初電子密度由燈絲的溫度(即陰極電流)控制。熱陰極在陽(yáng)極電場(chǎng)作用下發(fā)射電子,由于陽(yáng)極前有磁力線橫過,陰極發(fā)射的絕大部分原初電子不能直接打到陽(yáng)極,只有沿著磁力線可直達(dá)陽(yáng)極的小部分原初電子和大量的低能、回旋半徑較大的麥?zhǔn)想娮硬拍鼙魂?yáng)極吸收。原初電子被限制在陰極平面、與陽(yáng)極直接相交的磁力線和屏柵圍成的邊界內(nèi),這個(gè)區(qū)域稱為原初電子區(qū)。陰極發(fā)射的原初電子可在此進(jìn)行有效的電離過程,因此等離子體也基本限制在這個(gè)區(qū)域內(nèi)。

      放電室中產(chǎn)生的離子向所有的邊界擴(kuò)散,并且在等離子體與柵極附件形成弓形離子鞘,經(jīng)柵極離子光學(xué)系統(tǒng)加速引出放電室形成離子束。

       Kaufman離子源具有較寬的工作狀態(tài),在Ar作為工作氣體時(shí),陰極燈絲具有較長(zhǎng)壽命和較穩(wěn)定的工作狀態(tài)。但是燈絲的消耗會(huì)對(duì)基片帶來污染,而使用氧氣和反應(yīng)氣體時(shí),兼容性差,燈絲壽命和穩(wěn)定性會(huì)大大下降,同時(shí)產(chǎn)生的C、F 沉積構(gòu)成的絕緣層會(huì)導(dǎo)致離子源不能正常工作。