鋼基CVD 金剛石薄膜的制備、微結(jié)構(gòu)及其機(jī)械性能的研究

魏秋平1, 2 余志明1, 2

(1.中南大學(xué) 材料科學(xué)與工程學(xué)院 長(zhǎng)沙 410083;2.中南大學(xué) 粉末冶金國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 長(zhǎng)沙 410083)

　　摘要 金剛石具有最高的硬度、極高的耐磨和抗腐蝕性、極低的摩擦系數(shù)，這些特性使CVD 金剛石膜成為加工工具和耐磨零件的最佳防護(hù)涂層材料之一。由于這些工件的失效通常始于表層，金剛石膜涂層鋼基工具能有效提高工件的使用壽命和加工性能，可實(shí)現(xiàn)高效、高速、高精度加工。盡管市場(chǎng)潛力巨大，但是金剛石膜涂層鋼基工件的實(shí)際應(yīng)用卻一直受到某些因素的制約，主要是由于Fe 具有高溶碳性、催生石墨相和高熱膨脹系數(shù)等特點(diǎn)，使得在鋼基工件表面難以直接獲得高質(zhì)量、高結(jié)合強(qiáng)度的CVD 金剛石膜。解決上述問(wèn)題的關(guān)鍵在于找到某種中間過(guò)渡層，既能保證金剛石膜的高形核率和高質(zhì)量，又同時(shí)可以保證金剛石膜/過(guò)渡層和過(guò)渡層/基體兩個(gè)界面具有良好的結(jié)合強(qiáng)度。

　　基于這一原則，本文首先以化學(xué)熱處理表面改性法作為切入點(diǎn)，發(fā)現(xiàn)高速工具鋼經(jīng)滲鉻熱處理后能在基體表面形成一層富Cr層，該處理能顯著提高金剛石膜的形核密度，在優(yōu)化工藝條件下能獲得平滑致密、質(zhì)量良好的金剛石薄膜，但是，低載荷壓痕測(cè)試表明膜-基結(jié)合強(qiáng)度仍然不夠理想。此后，本文將研究重點(diǎn)轉(zhuǎn)向通過(guò)其他方式尋找合適的中間過(guò)渡層隔離Fe 元素。

　　首先，采用反應(yīng)磁控濺射技術(shù)在高速工具鋼基體上制備了W-C 梯度過(guò)渡層，并研究了該過(guò)渡層對(duì)CVD 金剛石薄膜的影響，最終發(fā)現(xiàn)反應(yīng)濺射W-C 梯度過(guò)渡層能有效提高CVD 金剛石薄膜的形核率，但是，由于高溫CVD 過(guò)程中W-C 過(guò)渡層的物相轉(zhuǎn)變和鋼基很高的熱膨脹系數(shù)，該過(guò)渡層體系無(wú)法徹底解決附著性能差的問(wèn)題。為了有效改善中間層與基體和金剛石膜的匹配問(wèn)題，使中間層在機(jī)械、熱膨脹、耐腐蝕性能方面起到良好的過(guò)渡作用，在W-C 體系中引入少量金屬粘結(jié)相Co，即，選用WC-Co 作為中間過(guò)渡層，以便改善過(guò)渡層與基體的結(jié)合強(qiáng)度和抗熱震性。

　　因此，我們采用熱噴涂技術(shù)在高碳鋼基體上制備了WC-Co 中間過(guò)渡層，并根據(jù)前期的摸索選用合適的WC-Co 二步法預(yù)處理工藝，在鋼基上獲得了高質(zhì)量、高附著性能的金剛石膜。在附著性能方面取得較大突破之后，為了提高Diamond/WC-Co/Steel 體系在腐蝕環(huán)境下的抗磨損壽命，采用了沉積參數(shù)呈周期性變化的時(shí)間調(diào)制CVD 制備了金剛石膜，有效地提升了Diamond/WC-Co/Steel 體系經(jīng)過(guò)3.5 mol/L NaCl 溶液電化學(xué)腐蝕后的抗摩擦磨損性能。

　　通過(guò)本文的研究，在鋼基上CVD 金剛石薄膜的機(jī)械和耐腐蝕性能方面取得了明顯的突破，將有利于推動(dòng)這種具有優(yōu)良性能的耐磨涂層體系的工業(yè)化應(yīng)用。

　　關(guān)鍵詞 化學(xué)氣相沉積 金剛石 鋼基體 過(guò)渡層 附著性能