基于PLC的PECVD溫度控制系統(tǒng)設計

游錦山 陳長琦 汪根生 林 勝

(合肥工業(yè)大學 合肥 230009)

　　摘要： PECVD 溫度控制系統(tǒng)的精確性和穩(wěn)定性對獲得結構穩(wěn)定和性能優(yōu)良的半導體薄膜材料非常重要。本文基于西門子S7-300 可編程控制器(PLC)為控制核心，搭配觸摸屏為人機交換界面(HMI)，論述了PECVD 溫度控制系統(tǒng)的設計。PLC 與HMI 基于MPI協(xié)議實現(xiàn)通信功能，采用WinCC flexible 組態(tài)友好的控制界面，完成數(shù)據(jù)輸入/輸出、參數(shù)修改、實時監(jiān)控和報警聯(lián)鎖。

　　以STEP 7 為程序設計平臺，在定時中斷組織模塊(OB35)中循環(huán)調用標準溫度功能塊(FB58)編程實現(xiàn)對溫度的PID 閉環(huán)控制,擴展PLC 模擬量輸入模塊SM331 對熱電阻標準模擬信號實現(xiàn)A/D 轉換，結合FB58 集成的脈寬調制輸出功能，將PID 運算結果轉換成脈沖占空比控制固態(tài)繼電器執(zhí)行加熱動作。

　　該系統(tǒng)提高了PECVD 溫度控制的自動化水平，并有效縮短控制回路的調節(jié)時間，減小超調量，確保了溫度的準確控制和系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。

　　關鍵字：PECVD PLC HMI 溫度控制