采用納米壓痕儀測量Cr/Al雙層納米薄膜的力學性能，結(jié)合有限元仿真的手段對壓痕測試進行模擬。通過實驗測出了雙層膜的彈性模量值和硬度值隨著壓深h 的不同而表現(xiàn)出一定的變化規(guī)律，以及得出了濺射時由于核能粒子的轟擊而形成的界面層的厚度及其力學性能特征。有限元仿真是對納米壓痕實驗的補充，找出了應(yīng)力主要集中在壓頭附近的區(qū)域，并且發(fā)現(xiàn)了最大應(yīng)力主要集中在雙層膜的下層Al膜中，而非上層膜Cr膜中。

　　納米薄膜具有許多獨特的性能，如具有巨電導、巨磁電阻效應(yīng)、巨霍爾效應(yīng)、可見光發(fā)射等。這些特殊的性能使其可用做氣體催化材料、過濾器材料、高密度磁記錄材料、光敏材料等，從而使得納米薄膜得到了廣泛的應(yīng)用。雙層膜由于在結(jié)構(gòu)上與單層膜具有較大的差異，使其具備單層膜難以達到的性能，如雙層膜不僅能夠提高硬度和摩擦磨損性能，還能夠改善涂層的韌性、抗裂紋擴展能力和熱穩(wěn)定性等性能。

　　雖然雙層膜具有如此多的性能，力學性能仍是其基本性能，目前對于雙層膜力學性能方面的研究主要是針對膜與襯底間結(jié)合性能的研究，主要的研究手段是通過使用納米壓痕設(shè)備對薄膜樣品進行力學性能測試，但是目前對于雙層膜中膜與膜之間界面的研究相對較少。因為膜與膜之間所形成的界面具有復雜的組織結(jié)構(gòu)和力學性能。納米壓痕儀以其較高的載荷和位移分辨率（分別優(yōu)于1 nN 和0.0002 nm） 以及對樣品近似于無損檢測等優(yōu)點，故被廣泛的用于納米薄膜的力學性能測試，可以得到納米薄膜的彈性模量、硬度、蠕變特性、疲勞特性和粘附等性能。雖然雙層膜中各組成膜以及膜與膜間所形成的界面層厚度均在納米數(shù)量級，但由于納米壓痕儀是通過極細的金剛石探針與被測材料點接觸，故可壓入表層材料，穿過界面層，直至襯底，這就使得它研究雙層膜的界面性能成為可能。

　　利用有限元仿真手段模擬納米壓痕實驗，可以得到每一載荷步下材料對壓頭的作用反力、壓痕形貌、應(yīng)變場、應(yīng)力場、以及卸載后材料彈性恢復變形等信息。更主要的是，有限元模擬可以近似得出薄膜的塑性性能，這是納米壓痕實驗很難測出的。因此，有限元模擬和實驗相結(jié)合，可以完成實驗不便完成的研究，使得對于納米薄膜的力學性能測試技術(shù)更趨于完善。

1、樣品制備及其力學性能測試

1.1、樣品制備

　　利用磁控濺射方法濺射Cr/Al 雙層納米薄膜，為了使得薄膜與襯底更好的結(jié)合，將硬度較低的Al 薄膜濺射在下層。襯底為CAT.NO.7101載玻片，大小是15 mm×15 mm×1.2 mm。濺射時Al 靶材、Cr 靶材純度均為99.99%，氬氣純度為99.999%，Al 靶材和Cr 靶材的濺射功率分別為100 W、200 W，濺射時間分別為60 min、30 min。

1.2、納米壓痕測試

　　為了消除襯底對測試的影響，原則上測試時壓痕深度不得超過整個膜厚的1/10。此次納米壓痕測試所使用的是美國安捷倫科技有限公司生產(chǎn)的納米壓痕儀， 儀器型號為Nano Indenter XP。對應(yīng)不同最大壓深所測得的納米壓痕實驗的結(jié)果如圖1 所示。圖2 是最大壓深hmax 為500 nm時所測得的彈性模量值E 隨著壓深h 的變化而變化的曲線，為了保證數(shù)據(jù)的準確性，減少誤差，一共測試了9 個點。圖3 是最大壓深hmax 為500 nm 時所測得的硬度值H 隨著壓深h 的變化而變化的曲線，同樣測試了9 個點。對Cr/Al 雙層納米薄膜所測得的彈性模量值E 和硬度值H 的9 組平均值分別為74.392 GPa 和5.894 GPa。從圖2 中可以看出，當對Cr/Al 雙層納米薄膜測試其彈性模量值時，在一開始時并未出現(xiàn)納米壓痕尺寸效應(yīng)。并且當壓深h 值達到約350 nm 時，彈性模量值由先前的平穩(wěn)狀態(tài)進入增大的趨勢。可以說明，此時，壓頭進入Cr 膜與Al 膜形成的界面層，并逐漸進入下層的Al 膜。界面的形成是由于磁控濺射時核能粒子的轟擊作用使得界面處發(fā)生了界面擴散。當壓深h 為400 nm 以及更大的時候，壓頭完全進入了下層的Al 薄膜，所測得的彈性模量值反而具有增大的趨勢，說明界面處的力學性能很復雜，并非膜與膜之間簡單的過渡。從圖3 中亦能夠發(fā)現(xiàn)，在壓深h 為350 nm 時，硬度值出現(xiàn)了下降的趨勢，原因就是由于此時壓頭進入了界面層，這與彈性模量值變化趨勢是一致的。當壓深h 為400 nm 及更大的時候，壓頭完全進入了Al 薄膜，由于下層Al 膜的硬度值要小于上層Cr 薄膜的硬度值，故在曲線中出現(xiàn)了下降的趨勢。出現(xiàn)下降的趨勢的原因還可能是由于出現(xiàn)了納米壓痕尺寸效應(yīng)的影響，產(chǎn)生尺寸效應(yīng)的原因是幾何約束限制了位錯的運動。通過對測試數(shù)據(jù)的分析可知，上層Cr 膜的厚度大約在350 nm，在Cr 膜與Al 膜之間會形成厚約50 nm 的過渡界面，即當壓深約為400 nm 左右時壓頭才越過界面層進入下層的Al 膜中。

　　圖1 不同最大壓深hmax 下測得的Cr/Al 雙層納米薄膜壓深h—壓力p 曲線

　　圖2 最大壓深為500 nm 時所測得的Cr/Al 雙層納米薄膜壓深h—彈性模量E 曲線（測試9 點）

　　圖3 最大壓深為500nm 時所測得的Cr/Al 雙層納米薄膜壓深h—硬度值H 曲線（9 點）

2、有限元仿真

　　由于仿真時輸入的參數(shù)均來自納米壓痕測試時測出的參數(shù)，所以說仿真在一定程度上是真實的。

2.1、模型的建立

　　根據(jù)圣維南原理以及實際仿真時對比發(fā)現(xiàn)，如果模型的尺寸是最大壓深15 倍以上的時候，邊界的影響即可忽略不計。建立的模型如圖4 所示，共兩層膜，由于Cr 膜和Al 膜組成的界面的組織結(jié)構(gòu)和力學性質(zhì)比較復雜，所以在建模的時候可以作如圖4 所示的簡化處理。模型上面的三角形為剛性壓頭，納米壓痕測試時所用的壓頭為Berkovich 壓頭，這種壓頭的面積函數(shù)與圓錐形的Vickers 壓頭相同，為了簡化模型，故建模時使用Vickers 壓頭，壓頭的圓錐角為140.6℃。壓頭下面網(wǎng)格劃分較細的是Cr 膜，厚度為350 nm，下層Al 膜厚度為5000 nm。

圖4 Cr/Al 雙層納米薄膜仿真模型圖